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激光干涉仪主要特点

2021-02-23 15:13:38

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

激光干涉仪主要特点:

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米

4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性

5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间

7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。

8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。kaiyun开云

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